台湾政府各部会都表态支持开放高科技半导体产品8寸晶圆到大陆投资，不过仍然有不少立法委员对这项政策提出质疑。
尽管有部份台湾党派和学者表态反对高科技半导体产品8寸晶圆到大陆投资，台湾经济部长宗才怡星期一在立法院接受质询时表示，台湾不得不开放这项政策.她说整体而言，中国半导体市场仍然在起步阶段，但是中国发展优势在于有雄厚的内需市场、人力资源以及政策上强力支持，因此有潜力发展成全球中低阶半导体产品的最大制造基地，她说：假如不做任何事情，再等两年，我们的竞争力会消失，他们(大陆)大量生产回销到台湾及全世界，会破坏我们目前的竞争力。
宗才怡还说明了开放8寸晶圆到大陆的五大原因，包括了大陆目前拥有全球最大的行动电话市场，加上近年来积极采取以市场换取技术的策略，藉由租税优惠、自制率等限制方式，吸引国外半导体业者前往投资。如果台湾业者不前往卡位，将影响全球领先地位；大陆晶圆厂商目前已经积极对台湾采取挖角动作，并且刻意以低价或以贴近客户方式，抢夺台湾晶圆厂商的客户，到时将危及台湾产业的竞争力。
宗才怡并指出，在面对大陆晶圆厂恶性竞争抢单下，一旦毛利下降10%，则台湾 1 年蒙受的利润损失将高达 290 亿新台币。
*立委担心技术人才资金外流*
但是，另一方面，还是有多位立委纷纷质疑台湾如果开放8寸晶圆厂赴大陆投资，将引起技术、人才，甚至是资金外流的疑虑。民进党籍立委刘世芳就认为管理机制不够健全。她说政府虽然强调如果开放将采取有效管理，但事实上，政府对偷跑的业者都没办法惩处，完全没有公信力：如果有人偷跑过去，贸易法的相关规范里没有罚则。
经济部次长陈瑞隆则强调，还是有法可罚；如果有违法，根据两岸人民关系条例第８６条的规定，会处以一百到五百万元的罚锾，一直到他撤资为止。
对于立委有关资金技术外流的疑虑，宗才怡表示，政府对8寸晶圆厂赴大陆设厂的态度是持“总量管制”政策，也就是赴大陆投资不得超过公司市值的20%，因此，台湾最多仅能开放 2到3座的 8寸晶圆厂。
除了经济部之外，其他部会也都是口径一致，国科会主委魏哲和表示，开不开放八寸晶圆赴大陆投资，优缺点都有，但是基于市场占有率及全球布局考量，如果限制厂商前往大陆投资，可能会造成厂商私自前往，但是如果建立管理机制，如只能使用旧设备、建厂资金取得限于国外、制程技术设限、空出的厂房持续投资建构十二寸厂等，在此前提之下，可以考虑开放。
陆委会副主委邓振中还说，相关部会已经大体形成共识，朝开放方向规划，3月底前将会做出决定并且有完整说明。
